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X射线光栅

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  • X射线光栅,加工精度高,1D和2D设计!

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    姓名:王工(Karl)

    电话:186 1603 9606

    邮箱:kangjun-wang@auniontech.com


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  • X-ray diffraction grating


    Rectangular grooves with period from 0.5 μm
    Groove height up to 200 nm
    Grating size up to 20×20 mm2

    Substrate: Si, SiO2

    Coatings:

  • thin films W, Al, Au etc. 

  • multilayer mirrors W/Si, Mo/Be, Cr/Sc etc.

  • substrate etching


  • Multilayer diffraction grating

       period D=2 μm     50 W/Si bilayers (d=50 Å)


    2D grating with round reflecting multilayer elements


    X-ray focusing


    Grazing incidence phase Fresnel zone plates 1D or 2D x-ray focusing
    Groove height up to 100 nm

    Zone plate size:

  • 1D focusing up to 50×50 mm2

  • 2D focusing up to 20×0.2 mm2


  • Substrate: Si, SiO2

    Coatings: 

  • thin films W, Al, Au etc

  • substrate etching 


  •                         Central and outermost zones of grazing incidence zone plate


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