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拉曼光谱成像系统

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滑动式二硫化钼CVD制备设备

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  • 滑动式二硫化钼CVD制备设备,稳定可靠

    所属类别:材料分析设备 » 拉曼光谱成像系统

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    姓名:贺工(Kevin)

    电话:180 1976 2603

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  • 滑动式二硫化钼CVD制备设备


    一、 概述
    硫粉预热器采用管内测控温以保证在250℃以下,稳定控制硫蒸汽的蒸发时机和蒸发温度。真空机组装有真空粉尘过滤器以保护机械式真空泵不被硫粉尘损坏。采用耐腐蚀电阻电容复合真空计(在1000Pa以上测量不受气体种类影响,耐硫蒸气腐蚀),通过调节真空蝶阀的开启程度调节炉管内压力稳定,在1200℃以下的工艺温度稳定气相沉积二硫化钼等二维化合物材料。
    二、  设备组成
    HCVD-1200S双温区管式炉,HTF400C硫粉预热器(双温区管式炉与预热器可滑动),质量流量计供气系统,机械式真空泵等组成。
     三、  主要技术参数
    硫粉预热器 

    型号:HTF-400C

    工作温度:350℃

    MAX温度:400℃

    MAX升温速率:30℃/min

    推荐升温速率:10℃/min

    控温方式:智能化30段可编程控制

    工作电压:AC220 V额定功率:800W

    控温精度:±1℃

    加热元件:电阻丝 

    双温区硫化炉 

    型号:HCVD-1200S

    技术参数:额定功率(KW):3

    额定电压(V):AC220v  50/60 Hz

    MAX温度(℃):1200(1 hour)

    持续工作温度(℃):1100

    升温速率(℃/min):≤50

    炉管尺寸(mm):高纯石英管Φ50×1500mm

    加热区长度(mm):440mm

    恒温区长度(mm):200mm 

    控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

    控温精度(℃):±1

    加热元件:电阻丝
    供气系统GMF3Z 

    质量流量计重量:35Kg

    外形尺寸:600x600x650mm

    连接头类型:双卡套不锈钢接头

    标准量程(N2标定):50sccm、200sccm、500sccm; (可根据用户要求定制)

    准确度:±1.5%线性:±0.5~1.5%重复精度:±0.2%

    响应时间:气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

    工作压差范围:0.1~0.5 MPa MAX压力:3MPa

    接口:Φ6,1/4''

    显示:4位数字显示

    工作环境温度:5~45℃

    内外双抛不锈钢管:Φ6

    压力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 

    截止阀:Φ6
    低真空机组VAU-02 

    技术参数:

    空气相对湿度≤85%

    工作电电压:220V±10%  50~60HZ

     功率:1千瓦

    抽气速率:4L\s

    极限真空:4X10-2Pa

    实验真空度:1.0X10-1Pa

    容油量:1.1L

    进气口口径:KF25

    排气口口径:KF25

    转速:1450rpm

    噪音:50dB

    外型尺寸:450×180×240mm
    配真空粉尘过滤器,DN25手动蝶阀用于控制炉管内压力,INFICON PCG554复合真空计



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  • 产品标签:二维材料, 二硫化钼,CVD, 电竞博彩app器件, 石墨烯, 材料制备

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