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X射线相机EUV,X射线波前探测器(X射线光束分析仪) 显示全部
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EUV,X射线波前探测器(X射线光束分析仪)

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  • EUV,X射线光强分布,波前分析实时测量,准确可靠!

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  • 该款EUV,X射线Hartmann-Shack波前传感器配置是为全面分析激光束和光学特性而设计。系统采用微透镜阵列将入射波分成大量的子射线(如右下图),每个焦点的强度和位置由CCD相机获取,经后续计算重构得到光强分布和波前分析。

                    


    主要特点:

       


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