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精密定位平台/扫描台

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亚纳米平移台(压电型,0-1500μm行程)

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  • 高精度亚纳米压电平移台!

    所属类别:平移台/旋转台/偏转镜 » 精密定位平台/扫描台

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    产品负责人:

    姓名:李工(William)

    电话:156 1809 2363

    邮箱:wentao-li@auniontech.com


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  • 高精度亚纳米压电平移台


    压电平移台是以压电陶瓷为驱动,以柔性铰链为导向,通过压电陶瓷的形变精确控制平台的移动。该平台可提供X、XY及XYZ等不同维度平台,行程最大可达1500微米。采用硅高精度位移传感器闭环反馈,使平台拥有毫秒级响应速度,亚纳米级的分辨率,并且拥有非常低的底噪。被广泛应用于,超分辨显微、光镊系统、原子力显微镜、显微扫描、光路调整、纳米操控技术、CCD 图像处理、激光干涉、纳米光刻、生物科技、光通信、纳米测量、显微操作、纳米压印等。 

    竞博游戏电竞博彩app推出的压电平台按维度可以提供以下产品:

    ①单轴压电平台

    单轴压电平台是可以在单个维度上提供精确定位的产品,主要包含X压电平台、Z轴压电平台、物镜扫描台、一维快反镜。

    1)X轴压电平台

    一维平台可提供不同行程、中空/非中空等不同类型的产品

    型号

    AUHS1

    AUHS1H

    AUC-X.100

    AULF1

    AUSLR

    产品图片


    行程(μm)

    10/30/50/70/100

    30/50/70/100

    100

    100/200/300

    300/500/8001500

    分辨率(nm)

    0.01/0.03/0.05/0.07/0.1

    0.03/0.05/0.07/0.1

    0.1

    0.1/0.2/0.3

    0.3/0.5/0.8/1.5

    重复精度(全行程)nm

    0.02/0.06/0.1/0.14/0.2

    0.06/0.1/0.14/0.2

    0.2

    0.2/0.4/0.6

    0.6/1/1.6/3

    本底噪声nm

    0.001/0.003/0.005/0.007/0.01

    0.003/0.005/0.007/0.01

    0.01

    0.01/0.02/0.03

    0.03/0.05/0.08/0.15

    传感器

    硅传感器闭环反馈





    u  产品特点
    l  高分辨率(0.01nm)
    l  大行程1500μm
    l  高速度,谐振频率可达7000Hz
    l  采用硅传感技术
    l  超低底噪
    l  柔性铰链导向


    u  主要应用
    l  纳米刻蚀
    l  干涉测量
    l  高速聚焦
    自适应光学
    l  超分辨显微镜
    l  粒子追踪


    u  产品参数:


    Unit

    HS1.10

    HS1.30

    HS1.50

    HS1.70

    HS1.100

    LF1.100

    LF1.200

    LF1.300

    SLR.1500

    Range of motion

    mm

    10

    30

    50

    70

    100

    100

    200

    300

    1500

    Resolution

    nm

    0.01

    0.03

    0.05

    0.07

    0.1

    0.1

    0.2

    0.3

    1.5

    Typical noise floor

    nm

    0.001

    0.003

    0.005

    0.007

    0.01

    0.01

    0.02

    0.03

    0.15

    Full range repeatability

    nm

    0.02

    0.06

    0.1

    0.14

    0.2

    0.2

    0.4

    0.6

    0.3

    Linearization (typical)


    0.02%

    0.02%

    0.02%

    0.02%

    0.02%

    0.02%

    0.02%

    0.02%

    0.02%

    Resonant frequency

    Hz

    7000

    4000

    4000

    4000

    1500

    500

    400

    300

    135

    Stiffness

    N/mm

    5.2

    3

    3

    3

    1.1

    0.6

    0.5

    0.4

    0.15

    Maximum load :



    horizontal use

    Kg

    1

    vertical use

    Kg

    0.5

    Sensor


    Silicon HR sensor

    Material


    Al

    Cable length

    m

    2

    Controller


    Standard or High Speed

    Standard







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