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精密定位平台/扫描台

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纳米平移台(压电马达型,10-1500mm行程)

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  • 纳米级精度高速大行程压电马达线性平移台!

    所属类别:位移台/偏转镜/光学平台 » 精密定位平台/扫描台

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    产品负责人:

    姓名:李工(William)

    电话:156 1809 2363

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  • 纳米级高速大行程压电马达平移台


    AU-XLS系列压电马达线性平移台拥有独特的特点。该平移台是一款兼具大行程和高精度的压电马达位移平台。

    该平移台采用无声的超声波马达,超声波马达是通过一个耦合元件抵住移动导向转子,在高频电流下压电陶瓷促动器被激发产生超声波振动,促动器的变形使耦合元件相对于转子产生周期性的对角运动,每个循环的进给为几个纳米,高频的信号,可以使转子高速的运动。因此AU-XLS系列压电马达平移台的最大速度可达到100mm/s

    理论上压电马达平移台的行程仅取决于转子的长度,因此AU-XLS系列位移平台可提供的行程范围可达94mm,采用线性编码器位置传感器闭环控制,使位移平台的位移分辨率可达到78nm,在满足大行程的同时实现了高的精度。由于压电陶瓷已经加载了预加力,因此断电之后平移台会有自锁功能,使位移平台依然保持在原位。这样可以减少了能源的消耗和产热量,提高了位移平台的精度。

    此外,由于该平台采用模块化设计,因此该平移台可以组成多维位移平台,并且可以提供真空兼容和非磁位移平台。

     

    主要特点:

    l  大行程 (92mm)

    l  高精度(78nm)

    l  高速度(100mm/s

    l  支持断电自锁

    l  可在真空和非磁环境

    主要应用:

    l  电竞博彩app子学

    l  扫描电子显微镜

    l  半导体生产

    l  医学和材料科学

    l  生命科学与生物技术学

    l  显微镜和计量学

     

    产品参数:


    AU-XLS

    Minimum travel range

    19 mm

    Maximum travel range:

    92 mm

    Load capacity

    < 1kg

    Holding / driving force

    ~ 1N

    Min. step size

    500nm [standard encoder] / 78nm [precision   encoder]

    Max. speed

    400mm/s

    Min. speed

    1mm/s

    Constant speed

    +/- 1% at typical scan speed

    Lifespan

    > 100 km (typical)



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