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精密定位平台/扫描台

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纳米平移台(压电马达型,10-1500mm行程)

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  • 纳米级精度高速大行程压电马达线性平移台!

    所属类别:位移台/偏转镜/隔振台 » 精密定位平台/扫描台

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    产品负责人:

    姓名:李工(William)

    电话:156 1809 2363(微信同号)

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  • 纳米级高速大行程压电马达平移台


    XLS系列线性位移平台,是由超声波压电马达驱动,可提供不同行程的精确定位。由于采用超声波压电马达驱动,速度可达到200mm/s,并且该平台非常适用于扫描,可提供恒定的扫描速度,速度不稳定性低于2%。

    该平台采用超声波马达,对于这种马达平台的运动是通过接触点的椭圆振荡产生。如下图所示。通过椭圆的振荡推动平台产生微小移动,并通过高频率产生极高的速度,并且没有噪声,电机在定位后可产生自锁,由于马达在椭圆振荡的上端才会与平台接触,大大提高平台的使用寿命通常在10-100km。


    XLS系列平台可提供不同的行程,行程范围可达到92mm。为了适应不同精度要求的应用,平台集成不同精度的位置传感器,根据闭环系统中传感器的精度可分为以下几类线性平台

    1)集成-1250位置传感器的压电马达平台-min setp1250nm,


    XLS-1-40

    XLS-1-50

    XLS-1-60

    XLS-1-70

    XLS-1-80

    XLS-1-100

    XLS-1-120

    Unit

    travel   range

    27

    32

    37

    42

    50

    72

    92

    mm

    resolution

    1250

    nm

    unidirectional   repeatability

    ±1250

    nm

    bidirectional   repeatability

    ±2500

    nm

    load   capacity

    0.5

    kg

    holding   force

    1

    N

    driving   force

    1

    N

    max.   speed

    200

    mm/s

    min.   speed

    2 to 5

    mm/s

    cable   length

    1.5

    m

    2)集成-312位置传感器的压电马达平台-min setp350nm


    XLS-1-40

    XLS-1-50

    XLS-1-60

    XLS-1-70

    XLS-1-80

    XLS-1-100

    XLS-1-120

    Unit

    travel   range

    27

    32

    37

    42

    50

    72

    92

    mm

    resolution

    350

    nm

    unidirectional   repeatability

    ±350

    nm

    bidirectional   repeatability

    ±700

    nm

    load   capacity

    0.5

    kg

    holding   force

    1

    N

    driving   force

    1

    N

    max.   speed

    200

    mm/s

    min.   speed

    2 to 5

    mm/s

    cable   length

    1.5

    m

    3) 集成-78位置传感器的压电马达平台-min setp80nm


    XLS-1-40

    XLS-1-50

    XLS-1-60

    XLS-1-70

    XLS-1-80

    XLS-1-100

    XLS-1-120

    Unit

    travel   range

    27

    32

    37

    42

    50

    72

    92

    mm

    resolution

    80

    nm

    unidirectional   repeatability

    ±80

    nm

    bidirectional   repeatability

    ±160

    nm

    load   capacity

    0.5

    kg

    holding   force

    1

    N

    driving   force

    1

    N

    max.   speed

    200

    mm/s

    min.   speed

    2 to 5

    mm/s

    cable   length

    1.5

    m

    4) 集成-1位置传感器的压电马达平台-min setp25nm


    XLS-1-40

    XLS-1-50

    XLS-1-60

    XLS-1-70

    XLS-1-80

    XLS-1-100

    XLS-1-120

    Unit

    travel   range

    27

    32

    37

    42

    50

    72

    92

    mm

    resolution

    25

    nm

    unidirectional   repeatability

    ±25

    nm

    bidirectional   repeatability

    ±50

    nm

    load   capacity

    0.5

    kg

    holding   force

    1

    N

    driving   force

    1

    N

    max.   speed

    200

    mm/s

    min.   speed

    2 to 5

    mm/s

    cable   length

    1.5

    m


    此外,由于该平台采用模块化设计,可以组成多维位移平台,例如:XY;XYZ,XYQ等。并且可以提供真空兼容和非磁位移平台。


     

    主要特点:

    l  大行程 (100mm)

    l  高精度(25nm)

    l  高速度(100mm/s)

    l  支持断电自锁

    l  可在真空和非磁环境

    主要应用:

    l  电竞博彩app子学

    l  扫描电子显微镜

    l  半导体生产

    l  医学和材料科学

    l  生命科学与生物技术学

    l  显微镜和计量学

     



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