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德国TEM激光光束指向和位置稳定系统介绍

一、产品概述


激光光斑漂移问题解析


德国TEM研发的激光束自动稳定系统-Aligna和ualigna系统使用2个PSD 2D探测光束指向和位置偏移量,闭环反馈控制快速反射镜实时

补偿光束偏移,反馈精度可达1urad,反馈带宽>1kHz。系统提供的自学习软件算法可以适用于任意光路布置方案,并进行快速优化锁

定,解决了机械振动引起的位置漂移和高功率激光器引起的角度漂移。Aligna系统大幅提高激光加工精度,并提供自动校准光路功能。

目前广泛应用在太阳能薄膜电池划线、PCB及柔性屏精密切割、激光精密打孔、半导体晶圆在生产制造过程中的切割、测量、曝光控

制等。 此系统已被Manz、BOSCH、三星、LIS、TRUMPF、TOPTICA Photonics、等公司广泛应用。

      


二、多光路控制系统   

        快反镜                              Kangoo控制软件

系统配置:

• Piezo和Motor嵌套式快速反射镜

4D 位敏探测器(光束位置和角度)

多光路控制机箱(包含快反镜驱动,探测信号处理模块,PID调节器等)

软件(自学习优化算法,全自动闭环稳定,光束坐标及功率监控)


系统特点:

连续波和脉冲激光器:  重复频率 0.1 Hz- 200 MHz / 连续波 

模块化系统, 单装置4光束控制 

反馈精度:    1 µm,  1 µrad   (最低可达 10-100 nm) 

超大扫描范围:  接近 18° 

全波段 (标准: 380- 1100 nm, 定制180 nm- 10 µm, THz),  任意光束直径 

高速度:伺服频宽超过 5 kHz ,压电驱动制动器和机械装置多种组合 

全计算机控制 (USB, 串口, 局域网) ,完全独立操作 

外部测量装置连接件  (功率计, PDs, ...)


三、单光路控制系统

系统配置:

Piezo和Motor嵌套式快速反射镜

4D 位敏探测器(光束位置和角度)

单光路控制机箱(包含快反镜驱动,探测信号处理模块,PID调节器等)

软件(自学习优化算法,全自动闭环稳定,光束坐标及功率监控)


系统特点:

连续波和脉冲激光器:  重复频率 15k Hz- 200 MHz / 连续波 

模块化系统, 单光路光束控制 

反馈精度:    1 µm,   1 µrad   (最低可达 10-100 nm) 

超大扫描范围:  接近 18° 

全波段 (标准: 380- 1100 nm, 定制180 nm- 10 µm, THz),  任意光束直径 

高速度:伺服频宽超过 5 kHz ,压电驱动制动器和机械装置多种组合 

全计算机控制 (USB, 串口, 局域网) ,完全独立操作 

外部测量装置连接件  (功率计, PDs, ...)
                 

四、产品应用